無油真空泵工作原理很簡單，其實與普通的容積泵相同，結構十分簡單，由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。

它具有結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環境等優點。無油真空泵耐用性好，是抽真空，壓縮，兩用真空泵，是一種應用范圍非常廣泛獲得真空的基本設備。

無油真空泵與油泵相比真空度低，抽氣量小，但體積小巧，易于安裝，維護簡單，移動方便，不產生油煙，不污染環境，尤其在要求較高的實驗室使用較好。也是實驗室常備的設備之一。

因此在選購無油真空泵時要先確定要求工作的真空度，如果需求的真度高，而選的真空泵就要高于需求的真空度，否則達不到抽真空的要求，就會達不到工作要求。其次是無油真空泵抽氣速率，選型時就要稍大于所需求的抽氣速率，這樣就能更好的滿足需要。z后看抽取的氣體有無腐蝕性，有腐蝕的氣體會腐蝕泵，必須要用特殊的材質才能滿足需求。